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高分辩聚焦离子束扫描电镜XEIA

产 品 名:高分辩聚焦离子束扫描电镜XEIA


新一代超高分辩双束聚焦扫描电镜任务平台

        XEIA3,是一款怪异的集多种功效于一体的新型双束聚焦(XE)扫描电子显微镜,它机能优良,为用户供给完善的全体处置计划。XEIA3不只配有大功率的FIB以停止超疾速的微米或纳米级切割,还具备超卓的低能粒子束成像才能,同时亦可以或许停止疾速靠得住地显微阐发和样品阐发的3D重修。


产物申明| 根基参数| 产物机能

 关头参数特色
功效壮大的SEM电子光学体系,接纳高亮度的Schottky发射器为电子源,具备束流大,噪点低,不凡的成像才能等特色
 In-Beam探测器可以或许确保在极小的任务间隔下仍能搜集旌旗灯号,停止高品德成像
 接纳Xe等离子体源的超疾速FIB体系 束流大,具备惊人的离子束切割速率,是以在切除大致积块状资料时卓有效果;同时较低的离子束流便于实现样品外表抛光
电子束加速手艺(BDT助力于停止超低着陆电压下的完善成像
断绝资料的植入、搀杂或降解更少,这点对半导体行业相称主要
SEM FIB两体系互补,即便用FIB停止样品切割或堆积时,可同时停止SEM成像摄影
TESCAN电镜独占的各类主动化操纵手艺,如In-Flight Beam TracingTM手艺可经由进程计较切确的调理高分辩率成像所需的参数设置(比方任务间隔WD、缩小倍率等)
DrawBeam 软件模块是一个便于停止图案设想的东西,3D功效亦很壮大,操纵它可在FIB切割或粒子束蚀刻等进程可及时取得图象
3D EDX3D EBSD等三维显微阐发手艺带来全新的处置计划
独家集成了飞翔时候二次离子质谱(TOF-SIMS)与 扫描探针显微手艺,可扩大的大样品室,操纵户可以或许停止6’’8’’ and 12’’ 的晶片光刻查验12’’ 晶片光刻查验是TESCAN电镜独占的手艺才能
气体注入体系 (GIS) 有助于使FIB实现更多操纵
高机能的电子成像才能,其成像速率可高达20 ns/pxl, 同时具备超卓的堆积速率及超快的扫描速率

涡轮份子泵及前级泵的高效力有益于坚持样品室的洁净度;电子枪经由进程离子吸气泵取得真空


  为用户须要供给详细处置计划


TESCAN公司不只为用户供给行业抢先的前进前辈仪器装备,并且持久努力于为研讨者供给最大的手艺撑持以鞭策人类迷信与手艺的前进 XEIA3新型电镜的推出,彰显了TESCAN的这份任务感。同时,这点也表现在TESCAN主动地为用户供给全方位的定制化办事上。TESCAN愿联袂来自资料/性命迷信和半导体/工程等诸多行业范畴的研讨职员,配合驱逐将来的挑衅。


  Xe等离子体源,极大地扩大FIB的操纵才能


XEIA3型电镜为双束聚焦扫描电子显微镜,同时集成了以Xe等离子体为离子源的FIB体系和具备超高分辩率的SEM体系。FIBSEM两体系的协同感化,可以或许实现一项迄今为止还没有实现的功效——以极快的速率停止大块资料的FIB切割去除。同时,SEM电子显微体系具备低于2nm的极佳分辩率,可以或许赞助迷信研讨或高科技财产开辟并实现更多的操纵。并且,大束流的等离子体离子源也能大大扩大该电镜的操纵规模,赞助用户实现更多任务。



  操纵实例


半导体和微电子范畴


Xe等离子体源的FIB体系,可以或许为用户供给加倍疾速便利的手艺手腕,使其更好地操纵能谱(EDX)、波谱(WD)等化学成份阐发体例,更可以或许充实阐扬3D EDX3D EBSD的功效及特色。同时,XEIA3还可以或许搭载飞翔时候二次离子质谱(TOF-SIMS),用于停止优良分辩率的外表阐发。以上可知,XEIA3是一个功效超等周全的阐发平台,其在资料迷信范畴所显现的研讨才能不言而喻。


    新资料及其描摹表征的研讨
               晶体、陶瓷及高份子等非导电资料研讨
   庞杂布局碳纳米管的图案布局察看
 
            碳纳米管                             Ag纳米线

  资料迷信


XEIA3双束聚焦离子束扫描电镜配有大功率Xe等离子体源FIB体系,出格合适半导体和微电子行业的检测和操纵。用户可接纳大束流停止疾速FIB切割,大束流也合用于制备资料薄层切片或切割较大横截面;操纵中等束流停止抛光,并去除外表加工陈迹;小束流用于停止切割截面或薄层切片最初的精抛光。别的,FIB停止离子刻蚀可以或许取得更好的蚀刻图案分辩率。


 


             制备薄片样品                                  钎焊隆起界面细节察看 

  性命迷信


XEIA3聚焦离子束扫描电镜的超强成像才能,可以或许在天然状况下对多种生物样品停止察看、成像。生物样品不须要喷涂导电层,也不必停止化学牢固,是以全部阐发进程大大简化,很是便于用户操纵。



    微生物学
    生物医学工程
    生物细胞与构造学
    细胞判定
    制药学及制药工程
    能源学进程的研讨,如物资晶化或消融等进程
    颗粒物特征研讨,如颗粒尺寸、孔隙率、颗粒布局及净化物等

   
               白鼠大脑构造        一组纤维母细胞细节察看

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